
30 май 2023 г.
На 29.05.2023 г. от 15:00 ч. в конферентната зала на БИЦ проф. д-р инж. Стоян Нихтянов от Техническия университет Делфт, Нидерландия изнесе публична лекция на тема "Оптична сензорна технология за автономно калибриране и диагностика". В лекцията бяха представени резултатите от финансиран от Европейската комисия проект в Техническия университет в Делфт, Нидерландия. Проектът е част от голям европейски консорциум (Joint Undertaking) с координатор – ASML, състоящ се от водещи производители на оборудване за полупроводниковата индустрия, и от няколко изследоватевлски института.
В Делфт е разработена серия от полупроводникови детектори за измерване на спектралната енергия в специфични части на широк радиационен спетър, простиращ се от мекото рентгеново излъчване до инфрачервената област. Основни характеристики на детекторите са: висока чувствителност и избирателност към определена дължина на вълната; вакуумна съвместимост; устойчивост при работа в агресивна среда; възможност за интегриране в автономен сензорен модул за калибриране и диагностика на литографски машини. За производство на детекторите е използвана разработена в ТУ – Делфт специална технология (PurеB), както и детектор за средно-инфрачервена област (2-12 микрометра), разработен съвместно с Полската фирмa VIGO.
Проф. Нихтянов работи в лабораторията по електронно уредостроене, катедра „Микроелектроника“, Технически университет - Делфт, Нидерландия, където ръководи изследователска група по индустриално електронно оборудване. От 2019 г. е почетен професор на Техническия университет – София. Наред с това той е консултант на високотехнологичната компания ASML. Той е активен член на IEEE, където в момента изпълнява функцията на вицепрезидент на Industrial Electronics Society и е старши редактор в списанието IEEE Sensors Journal, отговарящ за тематиката сензорни интерфейсни схеми. Проф. Нихтянов е автор и съавтор на повече от 180 рецензирани научни статии, 5 книги и глави от книги в областта на сензорите и сензорната интерфейсна схемотехника. Автор е на 28 патента.
Последвайте ни на:
Copyright © 2023 ТУ-София - ЦИР